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RAPYULAS 5シリーズ

独自開発によるRAPYULAS(ラピュラス)専用光学系を搭載し、高品質なレーザー加工をハイスループットで実現

RAPYULAS(ラピュラス)に搭載されるレーザー光学系は、RAPYULAS専用に当社が独自開発したものです。
この新開発の光学系により、RAPYULASは、高品質なレーザー加工をハイパワー、ハイスループットで行うことが可能です。

【特長】

RAPYULAS(ラピュラス)5は、専用光学系により高速で、安定したレーザー加工を実現します。

簡単操作で全自動連続加工を実現

  • ウエハの自動搬送
  • オートフォーカス
  • オートアライメント
  • 加工領域の設定
  • 高スループット対応

全自動連続破材加工が可能

  • 破材ウエハも自動で搬送、加工できます。

標準仕様

お問い合わせ

機能オートアライメント
オートフォーカス
オートローダ加工対象の自動搬入・搬出
ステージXYZθ
外形寸法W1,300xD1,500xH1,850mm
観察・制御入力タッチパネル
装置重量約1,500kg
レーザー安全規格クラス1
設置環境周囲温度:20-25℃
湿度:20-50%