- 独自開発によるRAPYULAS(ラピュラス)専用光学系を搭載し、高品質なレーザー加工をハイスループットで実現
RAPYULAS(ラピュラス)に搭載されるレーザー光学系は、RAPYULAS専用に当社が独自開発したものです。
この新開発の光学系により、RAPYULASは、高品質なレーザー加工をハイパワー、ハイスループットで行うことが可能です。- 【特長】
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RAPYULAS(ラピュラス)5は、専用光学系により高速で、安定したレーザー加工を実現します。
簡単操作で全自動連続加工を実現
- ウエハの自動搬送
- オートフォーカス
- オートアライメント
- 加工領域の設定
- 高スループット対応
全自動連続破材加工が可能
- 破材ウエハも自動で搬送、加工できます。
標準仕様
| 機能 | オートアライメント オートフォーカス |
|---|---|
| オートローダ | 加工対象の自動搬入・搬出 |
| ステージ | XYZθ |
| 外形寸法 | W1,300xD1,500xH1,850mm |
| 観察・制御入力 | タッチパネル |
| 装置重量 | 約1,500kg |
| レーザー安全規格 | クラス1 |
| 設置環境 | 周囲温度:20-25℃ 湿度:20-50% |

