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CIGS 薄膜太陽電池用ハイブリッドパターニング装置MPV-LMM シリーズ

【R&D用】
1台でP1/P2/P3の全てのパターニング加工が可能なR&Dに最適なモデル
ハイブリッドによるマルチヘッドが省スペース・省コストでハイパーフォーマンスを実現。MDIのレーザーとメカニカルの技術が融合したCIGS用R&Dシステム。

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太陽電池加工の可能性を広げる、MDIのガラス加工技術

標準仕様

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標準仕様
対応基板厚み
Glass Thickness
1.0mm-4.0mm
パターニング幅(メカニカル)
Mechanical Patterning Width
30~100μm ※1
パターニング幅(レーザー)
Laser Patterning Width
25~40μm ※1
マルチヘッド
Multi Head
1×Laser, 1×Mechanical, 1×Cutting(Basic Combination 標準)※2
動作制御
Operating System
PC Windows® OS
画像認識
Alignment System
2 cameras with auto alignment
ユーティリティ
Utility
Power AC200 3-phase
CDA 0.5MPa 30L/min
Vacuum -60kPa 40L/min
スペック
MODELMPV500-LMMMPV800-LMMMPV1200-LMM
基板サイズ※3
Glass Size
500×500mm MAX800×500mm MAX1,200×600mm MAX
装置寸法
Dimensions(W×D×H)
1,100×1,820×1,600mm1,600×2,834×1,602mm1,800×3,204×2,000mm
重量
Weight
approx.1,200kgapprox.2,800kgapprox.4,000kg
速度
Speed
1,000mm/sec MAX1,500mm/sec MAX

※1 実基板の状態により異なる場合もあります。

※2 スロット数:最大6スロット(レーザーの場合は1ヘッドにつき2スロットが必要)。

※3 上記以外のサイズに関しても対応いたしますので、詳細は当社までお尋ねください。

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