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MMシリーズ [Multi-Head Scriber MM Series]

  • 刃先
  • 単体機
  • 直線切り
  • ヘッド数5-12
  • 対応基板世代〜G4.5
スクライブヘッドの数を増やしタクトアップを実現
  • 複数ヘッドで同時スクライブすることにより、タクトタイムの大幅短縮を実現。
  • レシピに合わせて使用ヘッドを自動的に選択可能。

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装置概要マルチヘッドスクライバー
モデルMM500MM700MM900
装置寸法(mm)W1,100xD1,880xH1,600W1,280xD2,205xH1,600W1,810xD2,665xH1,550
重量(kg)1,0001,4002,700
対応基板サイズ(mm)Max Panel Size500x500560x680730x920

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